L'équipement de pulvérisation cathodique magnétronique de la série GSTMS est une machine de pulvérisation monobloc. Plusieurs pompes moléculaires assurent d'excellentes conditions de vide et une pulvérisation cathodique stable.

Caractéristiques de l'équipement :
Taille de la cavité φ1200-φ2000mm ;
Utiliser une source d'ions de couche anodique/un système ICP RF sans grille ;
Le processus de revêtement entièrement automatisé est réalisé grâce au système de contrôle de revêtement entièrement automatisé ACS ;
Le support de pièces est un support de type planétaire à plusieurs éléments ;
Le système d'échappement sans huile peut être personnalisé ;
Le processus et l'état de formation du film peuvent être observés sous de multiples angles ;