Echipamentul de acoperire prin pulverizare magnetronică seria GSTMS este o mașină de acoperire prin pulverizare dintr-o singură piesă. Pompele moleculare multiple asigură condiții excelente de vid și condiții stabile de pulverizare.

Caracteristici ale echipamentului:
Dimensiunea cavității φ1200-φ2000mm;
Utilizați sursa de ioni cu strat anodic/sistem ICP RF fără grilă;
Procesul de acoperire complet automat este realizat prin intermediul sistemului ACS de control complet automat al acoperirii;
Raftul pentru piese de prelucrat este o structură de tip raft/planetară cu mai multe piese;
Sistemul de evacuare fără ulei poate fi personalizat;
Procesul de formare a filmului și starea acestuia pot fi observate din mai multe unghiuri;