De hoogvacuümmachine voor thermische verdampingscoating (PVD-coatingapparatuur) maakt gebruik van de weerstandstechnologie voor thermische verdamping. Hij deponeert verschillende verbindingen, mengsels, enkele lagen of meerlaagse films op het substraat door het materiaal onder hoog vacuüm te verhitten. Het kan worden gebruikt voor productie en wetenschappelijke experimenten en kan worden aangepast aan de eisen van de gebruiker; het kan worden gebruikt voor fysisch en chemisch onderzoek van materialen; het kan worden gebruikt om metalen geleidende elektroden voor te bereiden; het kan worden gebruikt voor fysische en chemische prestatieonderzoeksexperimenten van organische materialen, principiële onderzoeksexperimenten van organische halfgeleiderapparaten, OLED-experimenteel onderzoek en organische zonne-dunne-film batterijonderzoeksexperimenten, enz.

Samenstelling apparatuur
- Enkele coatingkamer
- Enkele coatingkamer + monstertoevoerkamer
- Enkele coatingkamer + handschoenkast (coatingkamer kan in handschoenkast worden geplaatst)
- Enkele coatingkamer + monsternamekamer + handschoenenkast (coatingkamer kan in handschoenenkast worden geplaatst)
- Meerdere coatingkamers + kamer voor monsteroverdracht + handschoenkast (vormen een clusterstructuur, monsteroverdracht maakt gebruik van vacuümmanipulator)

Samenstelling apparatuur
Resistieve thermische verdampingsbronassemblage, stootbordsysteem voor monstermasker, vacuümacquisitiesysteem en vacuümmetingssysteem, moleculaire pomp (of koude pomp) vacuümunit, roterende substraatverwarmingstafel, werkgascircuit, verbindingsdelen voor handschoenenkastje, mechanisme voor monsteroverdracht, regelsysteem voor laagdikte, elektronisch regelsysteem, koelsysteem voor constante temperatuur enz.
Het type en de hoeveelheid thermische verdampingsbronnen kan geconfigureerd worden volgens de behoeften van de gebruiker.
Optioneel: filmdiktemonitor, koelwatertank met constante temperatuur.

Typen en configuraties thermische verdampingsbronnen
Weerstand thermische verdampingsbron componenten: Hoeveelheid: 1 tot 12 sets (kan worden uitgerust volgens de eisen van de gebruiker);
Weerstand types thermische verdampingsbron: Tantaal (wolfraam of molybdeen) metalen boot thermische verdamping bron componenten, kwarts boot thermische verdamping bron componenten, wolfraam elektrode of wolfraam blauw thermische verdamping bron componenten, tantaal oven thermische verdamping bron componenten (met boriumnitride kroes of keramische kroes), straal bron oven thermische verdamping componenten (met kwarts kroes of boriumnitride kroes).