Высоковакуумная машина для нанесения покрытий термическим испарением (оборудование для нанесения покрытий PVD) использует технологию термического испарения. Она наносит различные соединения, смеси, однослойные или многослойные пленки на подложку путем нагрева материала в условиях высокого вакуума. Он может быть использован для производства и научных экспериментов, и может быть настроен в соответствии с требованиями пользователя; он может быть использован для физических и химических исследований материалов; он может быть использован для подготовки металлических проводящих электродов; он может быть использован для физических и химических экспериментов по исследованию производительности органических материалов, принципиальных экспериментов по исследованию органических полупроводниковых устройств, экспериментальных исследований OLED и органических солнечных тонкопленочных батарей и т.д.

Состав оборудования
- Одна камера для нанесения покрытия
- Одна камера для нанесения покрытия + камера для подачи образцов
- Одна камера для нанесения покрытия + перчаточный бокс (камера для нанесения покрытия может быть помещена в перчаточный бокс)
- Одинарная камера покрытия + камера подачи образцов + перчаточный бокс (камера покрытия может быть помещена в перчаточный бокс)
- Несколько камер для нанесения покрытий + камера для переноса образцов + перчаточный бокс (образуют кластерную структуру, для переноса образцов используется вакуумный манипулятор)

Состав оборудования
Резистивный источник термического испарения в сборе, система перегородок маски образца, система сбора вакуума и система измерения вакуума, вакуумный блок с молекулярным насосом (или холодным насосом), вращающийся стол для нагрева подложки, контур рабочего газа, соединительные детали перчаточного бокса, механизм переноса образца, система контроля толщины пленки, электронная система управления, система охлаждения воды постоянной температуры и т.д.
Тип и количество источников термического испарения могут быть настроены в соответствии с потребностями пользователя.
Дополнительно: монитор толщины пленки, резервуар с охлаждающей водой постоянной температуры.

Типы и конфигурации источников термического испарения
Компоненты источника термического испарения сопротивления: Количество: От 1 до 12 комплектов (может быть укомплектован в соответствии с требованиями пользователя);
Сопротивление источников термического испарения типов: Танталовые (вольфрамовые или молибденовые) металлические лодочные компоненты источника термического испарения, кварцевые лодочные компоненты источника термического испарения, вольфрамовые электроды или вольфрамовые синие компоненты источника термического испарения, компоненты источника термического испарения танталовой печи (с тиглем из нитрида бора или керамическим тиглем), компоненты термического испарения пучковой печи (с кварцевым тиглем или тиглем из нитрида бора).