Mașina de acoperire prin evaporare termică cu rezistență în vid înalt (echipament de acoperire PVD) adoptă tehnologia de evaporare termică cu rezistență. Depozitează diverși compuși, amestecuri, straturi unice sau filme multistrat pe substrat prin încălzirea materialului în condiții de vid ridicat. Poate fi utilizat pentru producție și experimente științifice și poate fi personalizat în funcție de cerințele utilizatorului; poate fi utilizat pentru cercetarea fizică și chimică a materialelor; poate fi utilizat pentru pregătirea electrozilor metalici conductori; poate fi utilizat pentru experimente de cercetare a performanței fizice și chimice a materialelor organice, experimente de cercetare a principiilor dispozitivelor semiconductoare organice, cercetare experimentală OLED și experimente de cercetare a bateriilor solare organice cu strat subțire etc.

Componența echipamentului
- O singură cameră de acoperire
- Cameră unică de acoperire + cameră de alimentare cu probe
- Cameră de acoperire unică + cutie de mănuși (camera de acoperire poate fi plasată în cutia de mănuși)
- Cameră de acoperire unică + cameră de alimentare cu probe + cutie cu mănuși (camera de acoperire poate fi plasată în cutia cu mănuși)
- Camere de acoperire multiple + cameră de transfer a probelor + cutie de mănuși (formând o structură de grup, transferul probelor utilizează un manipulator de vid)

Componența echipamentului
Ansamblu sursă de evaporare termică rezistivă, sistem de deflectoare pentru masca de probă, sistem de achiziție a vidului și sistem de măsurare a vidului, unitate de vid cu pompă moleculară (sau pompă rece), masă rotativă de încălzire a substratului, circuit de gaz de lucru, piese de conectare la cutia de mănuși, mecanism de transfer al probei, sistem de control al grosimii filmului, sistem de control electronic, sistem de răcire cu apă la temperatură constantă etc.
Tipul și cantitatea de surse de evaporare termică pot fi configurate în funcție de nevoile utilizatorului.
Opțional: monitor de grosime a filmului, rezervor de apă de răcire cu temperatură constantă.

Tipuri și configurații ale surselor de evaporare termică
Componente ale sursei de evaporare termică a rezistenței: Cantitate: 1 până la 12 seturi (pot fi echipate în funcție de cerințele utilizatorului);
Tipuri de surse de evaporare termică cu rezistență: Componente ale sursei de evaporare termică cu barcă metalică de tantal (tungsten sau molibden), componente ale sursei de evaporare termică cu barcă de cuarț, componente ale sursei de evaporare termică cu electrod de tungsten sau tungsten albastru, componente ale sursei de evaporare termică cu cuptor de tantal (cu creuzet de nitrură de bor sau creuzet ceramic), componente ale sursei de evaporare termică cu cuptor cu fascicul (cu creuzet de cuarț sau creuzet de nitrură de bor).