Maszyna do powlekania termicznego z wysoką próżnią (sprzęt do powlekania PVD) wykorzystuje technologię termicznego odparowywania oporowego. Osadza różne związki, mieszaniny, pojedyncze warstwy lub wielowarstwowe folie na podłożu poprzez ogrzewanie materiału w warunkach wysokiej próżni. Może być stosowany do produkcji i eksperymentów naukowych i może być dostosowany do wymagań użytkownika; może być stosowany do badań fizycznych i chemicznych materiałów; może być stosowany do przygotowania metalowych elektrod przewodzących; może być stosowany do fizycznych i chemicznych eksperymentów badawczych materiałów organicznych, zasadniczych eksperymentów badawczych organicznych urządzeń półprzewodnikowych, badań eksperymentalnych OLED i eksperymentów badawczych organicznych cienkowarstwowych baterii słonecznych itp.

Skład wyposażenia
- Pojedyncza komora powlekania
- Pojedyncza komora powlekania + komora podawania próbki
- Pojedyncza komora powlekania + komora rękawicowa (komora powlekania może być umieszczona w komorze rękawicowej)
- Pojedyncza komora powlekania + komora podawania próbek + komora rękawicowa (komora powlekania może być umieszczona w komorze rękawicowej)
- Wiele komór do powlekania + komora do przenoszenia próbek + schowek (tworzący strukturę klastra, przenoszenie próbek za pomocą manipulatora próżniowego)

Skład wyposażenia
Zespół rezystancyjnego źródła parowania termicznego, system przegrody maski próbki, system akwizycji próżni i system pomiaru próżni, jednostka próżniowa pompy molekularnej (lub pompy zimnej), obrotowy stół grzewczy podłoża, obwód gazu roboczego, części łączące schowek, mechanizm przenoszenia próbki, system kontroli grubości powłoki, elektroniczny system sterowania, system wody chłodzącej o stałej temperaturze itp.
Rodzaj i ilość źródeł parowania termicznego można skonfigurować zgodnie z potrzebami użytkownika.
Opcjonalnie: monitor grubości powłoki, zbiornik wody chłodzącej o stałej temperaturze.

Typy i konfiguracje źródeł parowania termicznego
Komponenty źródła parowania termicznego rezystancyjnego: Ilość: 1 do 12 zestawów (mogą być wyposażone zgodnie z wymaganiami użytkownika);
Typy źródeł parowania termicznego rezystancyjnego: Tantal (wolfram lub molibden) metal boat thermal evaporation source components, kwarc boat thermal evaporation source components, wolfram electrode or wolfram blue thermal evaporation source components, tantal furnace thermal evaporation source components (with boron nitride crucible or ceramic crucible), beam source furnace thermal evaporation components (with quartz crucible or boron nitride crucible).