Представление характеристик оборудования
Оборудование для нанесения покрытий магнетронным напылением серии GSTMS представляет собой однокорпусную машину для нанесения покрытий. Несколько молекулярных насосов обеспечивают превосходные условия вакуума и стабильные условия напыления.
обработанные образцы
Оборудование для нанесения покрытий методом магнетронного напыления серии GSTMS представляет собой цельную установку для нанесения покрытий методом напыления. Несколько молекулярных насосов обеспечивают превосходные условия вакуума и стабильные условия напыления.
Особенности оборудования:
Размер полости φ1200-φ2000 мм;
Используйте ионный источник с анодным слоем/бессеточную радиочастотную систему ИСП;
Полностью автоматический процесс нанесения покрытия достигается благодаря полностью автоматической системе управления покрытием ACS;
Стойка для заготовок представляет собой многосекционную стойку планетарного типа;
Безмасляная выхлопная система может быть выполнена по индивидуальному заказу;
За процессом формирования пленки и ее состоянием можно наблюдать с разных сторон;
| Элемент | Спецификация |
| Размер вакуумной камеры | SUS304 φ1920mm×1700mm(H) |
| Рабочий стеллаж | Подвесная конструкция из нескольких частей |
| Размеры рабочей стойки | φ1800×1150 |
| Скорость вращения подложки | 3r/min～30r/min (переменная) |
| Режим контроля скорости реакции | Контроль скорости реакции Спидло / Прямая реакция |
| Целевой источник | Rotary/planar cathodes, mid-frequency/DC, 2–6 pairs |
| Контроль целевых источников | Кристаллический контроль / контроль кумулятивного времени |
| Источник ионов | Источник ионов в анодном слое / RF-ICP |
| Вакуумные насосы | Механический насос + турбонасос / крионасос / насос для криогенной ловушки |
| Элемент | Спецификация |
| Абсолютный вакуум | 2,5×10-⁴Pa |
| Время перекачки | От атмосферы до 4,0×10-³Па за 15 минут при комнатной температуре без нагрузки |
| Температура подложки | Maximum 350°C |
| Элемент | Спецификация |
| Требования к помещению | Approx. 5.1m (W) × 5.6m (D) × 3m (H) |
| Требования к питанию | Three-phase, five-wire, 380V, 50Hz, approx. 80kW |
| Требования к охлаждающей воде | 160L/min, 0.2–0.3MPa, 10–35°C |
| Сжатый воздух | 0,6 МПа |
| Вес оборудования | Approx. 14000kg |
Сопутствующие товары
Освоение основных технологий в высокопроизводительном аддитивном производстве металлов и обработке поверхностей
