GSTMSシリーズマグネトロンスパッタ成膜装置は、一体型スパッタ成膜装置です。複数の分子ポンプにより、優れた真空条件と安定したスパッタリング条件を提供します。.

装備の特徴
キャビティサイズφ1200-φ2000mm；;
陽極層イオン源/グリッドレスRF ICPシステムを使用；;
ACS全自動塗装制御システムにより全自動塗装を実現；;
ワークラックは、マルチピースラックタイプ/遊星構造；;
オイルフリーエキゾーストシステムはカスタマイズ可能；;
製膜工程や状態を多角的に観察することができる；;