GSTMS 시리즈 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 일체형 스퍼터링 코팅기입니다. 다중 분자 펌프는 우수한 진공 조건과 안정적인 스퍼터링 조건을 제공합니다.

장비 기능:
캐비티 크기 φ1200-φ2000mm;
양극층 이온 소스/그리드 없는 RF ICP 시스템을 사용합니다;
ACS 전자동 코팅 제어 시스템을 통해 완전 자동 코팅 공정이 이루어집니다;
공작물 랙은 다중 공작물 랙 유형/행성 구조입니다;
오일 프리 배기 시스템을 사용자 지정할 수 있습니다;
필름 형성 과정과 상태를 여러 각도에서 관찰할 수 있습니다;