Yüksek vakumlu elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi (PVD kaplama ekipmanı), alt tabakalar üzerinde çeşitli metalleri, oksitleri, iletken filmleri, optik filmleri, yarı iletken filmleri, ferroelektrik filmleri, süper sert filmleri vb. kaplamak için yüksek vakum koşulları altında elektron ışını bombardımanı ile malzemeleri ısıtma ve buharlaştırma yöntemidir; tek katmanlı filmleri, çok katmanlı filmleri veya katkılı karışım filmlerini kaplayabilir; çeşitli yüksek erime noktalı malzemeleri kaplayabilir.

Üretim, bilimsel deneyler ve öğretim için kullanılabilir ve kullanıcı gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.

Kullanıcı gereksinimlerine göre, kuvars kristal film kalınlığının otomatik kontrolü ve optik film kalınlığının otomatik kontrolü olmak üzere iki mod seçilebilir. PLC ve endüstriyel bilgisayar kombinasyonu sayesinde, vakum sistemi, pişirme sistemi, buharlaştırma işlemi ve film kalınlığı izleme işlevleri dahil olmak üzere tüm kaplama işlemi otomatik olarak kontrol edilebilir, böylece iş verimliliği artırılır ve ürün kalitesinin tutarlılığı ve istikrarı sağlanır.

Ekipman özellikleri

Ekipman, yüksek vakum, hızlı pompalama hızı ve uygun alt tabaka yükleme ve boşaltma özelliklerine sahiptir. E-tipi elektron ışını buharlaştırma kaynağı ve direnç buharlaştırma kaynağı ile donatılmıştır. PID otomatik sıcaklık kontrolü, düzgün film oluşumu, küçük gaz giderme hacmi ve düzgün sıcaklık avantajlarına sahiptir.
Kullanıcının gereksinimlerine göre, kuvars kristal film kalınlığının otomatik kontrolü ve optik film kalınlığının otomatik kontrolü olmak üzere iki mod seçilebilir. PLC ve endüstriyel bilgisayar kombinasyonu sayesinde, iş verimliliğini artırmak ve ürün kalitesinin tutarlılığını ve istikrarını sağlamak için vakum sistemi, pişirme sistemi, buharlaştırma işlemi ve film kalınlığı izleme işlevleri dahil olmak üzere tüm kaplama işlemi otomatik olarak kontrol edilebilir.
Vakum performansı
Nihai vakum: 7×10-5Pa～7×10-6Pa
Ekipmanın genel sızıntı oranı: 12 saat boyunca kapatma, ≤10Pa
Çalışma vakumunu eski haline getirmek için kısa süre, atmosfer 7×10-4Pa≤30 dakika;

Yüksek vakumlu elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi (elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi) ekipman bileşimi
E-tipi elektron ışını buharlaştırma tabancası, dirençli termal buharlaştırma kaynağı düzeneği (isteğe bağlı), örnek maske bölme sistemi, vakum toplama sistemi ve vakum ölçüm sistemi, moleküler pompa vakum ünitesi veya kriyojenik pompa vakum ünitesi, döner alt tabaka ısıtma masası, çalışma gazı yolu, örnek transfer mekanizması, film kalınlığı kontrol sistemi, elektronik kontrol sistemi, sabit sıcaklıkta soğutma suyu sistemi vb.
Opsiyonel: film kalınlığı monitörü, sabit sıcaklıkta soğutma suyu tankı.
Opsiyonel: kaplama makinesi + eldiven kutusu

Dirençli termal buharlaşma kaynağı tipi
- Tantal (tungsten veya molibden) metal tekne termal buharlaştırma kaynağı bileşeni
- Kuvars tekne termal buharlaşma kaynağı bileşeni
- Tungsten elektrot veya tungsten mavi termal buharlaştırma kaynağı bileşeni
- Tantal fırın termal buharlaştırma kaynağı bileşeni (bor nitrür pota veya seramik pota ile)
- Işın kaynağı fırını termal buharlaştırma bileşeni (kuvars pota veya bor nitrür pota ile)
Çalışma modu: manuel, yarı otomatik