GSTXCVD HFCVD Sıcak Tel Kimyasal Buhar Biriktirme Ekipmanı

Başla

Ekipmanın özelliklerinin sunumu

Deneysel ekipman ve üretim ekipmanı olmak üzere iki türe ayrılan sıcak tel CVD elmas ekipmanı geliştirdik, tasarladık ve ürettik. Ekipman esas olarak mikron ve nanokristal elmas filmlerin geliştirilmesi ve üretimi için kullanılır. Mekanik seviye, termal seviye, optik seviye, akustik seviye vb. için kullanılabilir.

işlenmiş örnekler
GSTXCVD HFCVD Sıcak Tel Kimyasal Buhar Biriktirme Ekipmanı
GSTXCVD HFCVD Sıcak Tel Kimyasal Buhar Biriktirme Ekipmanı
GSTXCVD HFCVD Sıcak Tel Kimyasal Buhar Biriktirme Ekipmanı
GSTXCVD HFCVD Sıcak Tel Kimyasal Buhar Biriktirme Ekipmanı

Deneysel ekipman ve üretim ekipmanı olmak üzere iki kategoriye ayrılan sıcak tel CVD elmas ekipmanı geliştirdik, tasarladık ve ürettik.
Ekipman esas olarak mikron ve nanokristal elmas filmlerin araştırılması ve geliştirilmesi ve üretimi için kullanılır. Mekanik, termal, optik ve akustik elmas ürünlerinin araştırılması ve geliştirilmesi ve üretimi için kullanılabilir.
Yüksek güçlü cihazların, yüksek frekanslı cihazların ve yüksek güçlü lazerlerin ısı alıcıları için büyük boyutlu elmas polikristal gofretler üretebilir.
Korozyona dayanıklı ve aşınmaya dayanıklı sert kaplamalar üretmek için kullanılabilir; çevre koruma alanında kanalizasyon arıtımı için elmas ürünler.
Düz iş parçaları üzerinde elmas filmlerin hazırlanması için kullanılabileceği gibi, takım yüzeyleri veya diğer düzensiz yüzeyler üzerinde elmas sert kaplamaların hazırlanması için de kullanılabilir.
İnce film güneş pillerinin araştırılması, geliştirilmesi ve üretimi için kullanılabilir.

İş parçası boyutu
Dairesel düzlem çalışmasının boyutu: maksimum φ600mm.
Dikdörtgen iş boyutunun genişliği 1000 mm/uzunluktur ve kaplama odasının uzunluğuna göre belirlenebilir (örneğin: iş parçası uzunluğu 1500 mm'dir).
Su soğutmalı numune masası ile donatılmıştır.
Tek tarafı veya her iki tarafı da kaplanabilir.

Sıcak kablo güç kaynağı gücü
300KW'a ulaşabilir, 1KW ~ 300KW ayarlanabilir (güç aralığı kullanıcı proses gereksinimlerine göre yapılandırılabilir)
Ekipman güvenliği
Güç sistemi algılama ve koruma
Vakum algılama ve alarm koruma fonksiyonunu ayarlayın
Soğutma sirkülasyon suyu sistemi basınç algılama ve akış algılama ve alarm koruması
Su basıncı algılama ve alarm koruma cihazını ayarlayın
Su akışı algılama alarm cihazını ayarlayın
Ekipman bileşimi
Vakum odası bileşimi
Çift katmanlı su soğutma yapısı, dikey yuvarlak, dikey D-şekilli, dikey dikdörtgen, yatay dikdörtgen, ön ve arka kapılar, vakum boyutu, iş parçasının boyutuna ve miktarına göre belirlenir.
Sıcak tel
Sıcak tel malzemesi: tantal tel veya tungsten tel
Sıcak tel sıcaklığı: 1800℃~2500℃ ayarlanabilir
Sıcak tel çökmez (uzun süreli ısıtmanın neden olduğu sıcak tel çökmesi sorununu çözer).
Örnek aşama
Su soğutmalı, önyargılı, döndürülebilir ve kaldırılabilir. Hız düzenleyici bir motor tarafından kontrol edilir ve otomatik kaldırma gerçekleştirebilir (sıcak tel ile alt tabaka arasındaki mesafe 5 ~ 100 mm aralığında ayarlanabilir). Stabil olması ve yukarı ve aşağı dalgalanmaların 0,1 mm'den büyük olmaması gerekir.
Çalışma gazı devresi (CVD)
Çalışma gazı devresi, kullanıcının proses gereksinimlerine göre yapılandırılır:
Aşağıdaki gaz yapılandırması belirli bir kullanıcı için yapılandırma örneğidir.
H2 (5000sccm, konsantrasyon 100%)
CH4 (200sccm, konsantrasyon 100%)
B2H6 (50sccm, H2 konsantrasyonu 99%)
Ar (1000sccm, konsantrasyon 100%)
Vakum toplama ve ölçüm sistemi
Kontrol sistemi ve yazılımı