Prezentarea caracteristicilor echipamentului
Am dezvoltat, proiectat și fabricat echipamente de diamant CVD cu fir cald, care sunt împărțite în două tipuri: echipamente experimentale și echipamente de producție. Echipamentul este utilizat în principal pentru dezvoltarea și producția de filme de diamant micron și nanocristalin. Acesta poate fi utilizat pentru nivelul mecanic, nivelul termic, nivelul optic, nivelul acustic etc.
probe prelucrate
Am dezvoltat, proiectat și fabricat echipamente de diamant CVD cu fir cald, care sunt împărțite în două categorii: echipamente experimentale și echipamente de producție.
Echipamentul este utilizat în principal pentru cercetarea, dezvoltarea și producția de filme de diamant micronice și nanocristaline. Acesta poate fi utilizat pentru cercetarea, dezvoltarea și producția de produse diamantate mecanice, termice, optice și acustice.
Poate produce plachete policristaline de diamant de dimensiuni mari pentru radiatoare ale dispozitivelor de mare putere, dispozitive de înaltă frecvență și lasere de mare putere.
Acesta poate fi utilizat pentru a produce acoperiri dure rezistente la coroziune și la uzură; produse diamantate pentru tratarea apelor uzate în domeniul protecției mediului.
Poate fi utilizat pentru prepararea peliculelor de diamant pe piese de prelucrat plane și, de asemenea, poate fi utilizat pentru prepararea straturilor dure de diamant pe suprafețele sculelor sau pe alte suprafețe neregulate.
Acesta poate fi utilizat pentru cercetarea, dezvoltarea și producția de baterii solare cu film subțire.
Dimensiunea piesei de prelucrat
Dimensiunea planului de lucru circular: maxim φ600mm.
Lățimea dimensiunii de lucru dreptunghiulare este de 1000 mm / lungime, care poate fi determinată în funcție de lungimea camerei de acoperire (cum ar fi: lungimea piesei de prelucrat este de 1500 mm).
Echipat cu o masă de probă răcită cu apă.
Poate fi acoperit pe o parte sau pe ambele părți.
| Putere de alimentare cu fir cald Poate ajunge la 300KW, 1KW ~ 300KW reglabil (gama de putere poate fi configurată în funcție de cerințele procesului utilizatorului) Siguranța echipamentului Detectarea și protecția sistemelor energetice Setați funcția de detectare a vidului și de protecție a alarmei Detectarea presiunii sistemului de răcire cu apă de circulație și detectarea debitului și protecția împotriva alarmelor Setați dispozitivul de detectare a presiunii apei și de protecție împotriva alarmelor Setați dispozitivul de alarmă pentru detectarea debitului de apă Componența echipamentului Compoziția camerei de vid Structura de răcire cu apă cu două straturi, verticală rotundă, verticală în formă de D, verticală dreptunghiulară, orizontală dreptunghiulară, uși din față și din spate, dimensiunea vidului, determinată în funcție de dimensiunea și cantitatea piesei de prelucrat. Fir cald Material sârmă fierbinte: sârmă de tantal, sau sârmă de tungsten Temperatura de sârmă fierbinte: 1800 ℃ ~ 2500 ℃ reglabil Firul fierbinte nu se prăbușește (rezolvă problema prăbușirii firului fierbinte cauzată de încălzirea pe termen lung). Etapa de eșantionare Poate fi răcit cu apă, înclinat, rotativ și ridicabil. Este controlat de un motor de reglare a vitezei și poate realiza o ridicare automată (distanța dintre firul fierbinte și substrat este reglabilă în intervalul 5~100 mm). Este necesar să fie stabil, iar fluctuațiile în sus și în jos să nu fie mai mari de 0,1 mm. Circuit de gaz de lucru (CVD) Circuitul gazului de lucru este configurat în funcție de cerințele de proces ale utilizatorului: Următoarea configurare a gazului este un exemplu de configurare a unui anumit utilizator. H2 (5000sccm, concentrație 100%) CH4 (200sccm, concentrație 100%) B2H6 (50sccm, concentrație H2 99%) Ar (1000sccm, concentrație 100%) Sistem de achiziție și măsurare a vidului Sistem de control și software |
Produse conexe
Stăpânirea tehnologiilor de bază în fabricarea aditivă a metalelor de înaltă performanță și tratarea suprafețelor
