GSTXCVD HFCVD 熱線化学蒸着装置

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機器の特性のプレゼンテーション

当社は熱線CVDダイヤモンド装置を開発、設計、製造しており、実験装置と生産装置の2種類に分けられる。本装置は主にミクロン及びナノ結晶ダイヤモンド膜の開発及び生産に使用される。機械レベル、熱レベル、光学レベル、音響レベルなどに使用できます。.

加工サンプル
GSTXCVD HFCVD 熱線化学蒸着装置
GSTXCVD HFCVD 熱線化学蒸着装置
GSTXCVD HFCVD 熱線化学蒸着装置
GSTXCVD HFCVD 熱線化学蒸着装置
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当社は熱線CVDダイヤモンド装置を開発、設計、製造しており、実験装置と製造装置の2つのカテゴリーに分けられる。.
本装置は、主にミクロンおよびナノ結晶ダイヤモンド膜の研究開発および製造に使用されます。機械的、熱的、光学的、音響的ダイヤモンド製品の研究開発および製造に使用できます。.
ハイパワーデバイス、高周波デバイス、ハイパワーレーザーのヒートシンク用の大型ダイヤモンド多結晶ウェハーを製造することができる。.
耐食性、耐摩耗性の硬質コーティング、環境保護分野における下水処理用ダイヤモンド製品の製造に使用できる。.
平らなワークピース上のダイヤモンド膜の調製に使用できるほか、工具表面やその他の不規則な表面上のダイヤモンドハードコーティングの調製にも使用できます。.
太陽薄膜電池の研究開発や生産に利用できる。.

ワークサイズ
円形平面ワークのサイズ:最大φ600mm。.
長方形のワークサイズの幅は1000mm/長さであり、これはコーティングチャンバーの長さに応じて決定することができる(例えば、ワークの長さは1500mmである)。.
水冷式試料台を装備。.
片面または両面にコーティングすることができる。.

熱線電源
300KW、調節可能な 1KW~300KW に達することができます(出力範囲はユーザーのプロセス条件に従って形成することができます)
機器の安全性
電力系統の検出と保護
真空検知とアラーム保護機能の設定
冷却循環水システムの圧力検出と流量検出およびアラーム保護
水圧検出とアラーム保護装置をセット
水流検知警報装置をセットする
機材構成
真空チャンバーの構成
二重層水冷構造、縦型丸型、縦型D型、縦型長方形、横型長方形、前後扉、真空サイズ、ワークの大きさと量に応じて決定される。.
熱線
熱線材料:タンタル線、またはタングステン線
熱線の温度:調整可能な1800℃〜2500
熱線が崩れない(長時間の加熱による熱線崩れの問題を解決)。.
サンプルステージ
水冷、バイアス、回転、昇降可能。速度調整モーターで制御され、自動昇降が実現できる(熱線と基板間の距離は5~100mmの範囲で調整可能)。安定性が要求され、上下変動は0.1mm以下。.
作動ガス回路(CVD)
作動ガス回路は、ユーザーのプロセス要件に応じて構成される:
以下のガスコンフィギュレーションは、あるユーザーのコンフィギュレーション例である。.
H2(5000sccm、濃度100%)
CH4(200sccm、濃度100%)
B2H6(50sccm、H2濃度99%)
Ar(1000sccm、濃度100%)
真空計測システム
制御システムとソフトウェア