ارائه ویژگیهای تجهیزات
میکروسکوپ الکترونی روبشی روبشی-عبوری یکپارچه میکند تفنگ الکترونی میدان شاتکی, ، تحویل رزولوشن ≤۱ نانومتر و ولتاژ شتابدهی ۰.۱–۳۰ کیلوولت برای تصویربرداری در مقیاس نانومتری تا میکرومتر. با یک طول عمر منبع بیش از ۱۵٬۰۰۰ ساعت و تراز خودکار پرتو, ، آن را ممکن میسازد تصویربرداری مستقیم نمونههای غیرهادی در ولتاژ ≤۵ کیلوولت بدون پوشش. مجهز به یک استیج موتوردار پنجمحوره (حمایت از نمونههای ۲۰۰ میلیمتری) و تشخیصدهندههای چندحالته (SE/BSE/EDS)، این سیستم در تحلیل با throughput بالا برای علوم مواد، علوم زیستی و صنایع نیمهرسانا برتری دارد و دقت را برای پژوهش و کنترل کیفیت تضمین میکند.
چرا FE-SEM ما را انتخاب کنیم؟
- دقت نانومتری: وضوح بینظیر برای پژوهشهای پیشرفته و کنترل کیفیت صنعتی.
- جریانهای کاری تطبیقیاز فلزات رسانا تا نمونههای زیستی ظریف، همگی در یک سیستم.
- آماده برای آیندهطراحی مدولار از ارتقاءها (مثلاً مرحلهٔ کرایو، EBSD سهبعدی) پشتیبانی میکند.
نمونههای فرآوریشده
مزایای کلیدی
تفنگ الکترونی شاتکی با انتشار میدانی با کارایی بالا
- فوقالعاده روشنایی: روشنایی استثنایی ارائه میدهد ۱۰ به توان ۹ A/(sr·m²·V) با پخش انرژی <0.3 الکترونولت و اندازهٔ پروب ≤۱ نانومتر, تضمین وضوح زیرنانومتری.
- عمر طولانیتر منبع: عمر عملیاتی از حد مجاز فراتر رفته است ۱۵٬۰۰۰ ساعت, ، به حداقل رساندن زمان از کار افتادگی.
- برتری ولتاژ پایین: به دست آوردن رزولوشن کمتر از ۱ نانومتر در 0.1–30 کیلوولت, ، ایدهآل برای نمونههای حساس به پرتو و غیرهادی.
۲. پایداری برتر و تطبیقپذیری تحلیلی
- پایداری تیر: سرگردانی جریان باند کمتر از ۰.۵۱ تیپی۳تی در ساعت برای تحلیل قابلاعتماد بلندمدت (مثلاً،, CL، EDS، EBSD).
- سازگاری نمونههای غیرهادیتصویربرداری مستقیم نمونههای بدون پوشش (پلیمرها، بافتهای زیستی) در ≤۵ کیلوولت بدون پاشش طلا.
۳. طراحی کاربرمحور
- اتوماسیون هوشمنددارای همترازی خودکار پرتو، گردش کار یککلیکی و کنترلهای لمسی برای عملکردی یکپارچه.
- ظرفیت نمونه بزرگ: گنجایش نمونهها تا قطر ۲۰۰ میلیمتر با یک استیج موتوردار اختیاری ۵ محوره (شیب ±۹۰°، چرخش ۳۶۰°).
کاربردها
| حوزه | کاربردهای کلیدی |
|---|---|
| علم مواد | ریختشناسی نانوساختار، تحلیل شکست، رابطهای لایههای نازک |
| علوم زیستی | ریزساختار سلولی، تصویربرداری از ذرات ویروسی (آمادهشده با انجماد سریع) |
| زمیندانش | نقشهبرداری فاز معدنی، مشخصهیابی ساختار تخلخل |
| کنترل کیفیت نیمههادی | بازرسی نقص، پروفایلبرداری فوتورزیست، متروژی نانوسیم |
| پزشکی قانونی و صنعت | تحلیل شواهد ردیابی (الیاف، ذرات)، ارزیابی محل لحیمکاری PCB |
مشخصات فنی
| پارامتر | مشخصات |
|---|---|
| منبع الکترون | تفنگ انتشار میدانی شاتکی |
| وضوح | ≤۱.۰ نانومتر (در ۱۵ کیلوولت)، ≤۱.۴ نانومتر (در ۱ کیلوولت) |
| ولتاژ شتاب | 0.1–30 کیلوولت |
| حالتهای خلأ | خلأ بالا: 10⁻⁴–10⁻⁵ پاسکال؛ خلأ پایین: 10–100 پاسکال (برای نمونههای بدون پوشش) |
| تشخیصدهندهها | SE, BSE, EDS (اختیاری WDS, CL, EBSD) |
| مرحله نمونه | محوطه موتوردار پنجمحوره: X/Y ۱۱۰ میلیمتر، Z ۵۰ میلیمتر، شیب ±۹۰ درجه، چرخش ۳۶۰ درجه |
| اندازه اتاقک | ۲۰۰ میلیمتر (قطر) × ۸۰ میلیمتر (ارتفاع) |
مورد | GST32-SEM1000 (میکروسکوپ الکترونی روبشی FE SEM) |
وضوح | ۱ نانومتر@۳۰ کیلوولت (SE) ۳ نانومتر@۱ کیلوولت (SE) ۲.۵ نانومتر@۳۰ کیلوولت (BSE) |
بزرگنمایی | ۶ برابر تا ۱٬۰۰۰٬۰۰۰ برابر |
نوع تفنگ الکترونی | شاتکی تفنگهای الکترونی را شلیک میکند |
ولتاژ شتابدهنده | 0 تا 30 کیلوولت |
عملکرد خودکار | تمرکز، روشنایی/کنتراست، آستیگماتیسم، جفت پرتو الکترونی متوسط |
سیستم خلأ | ۱ پمپ یونی، ۱ پمپ مرکب یون گتر، ۱ پمپ مولکولی و ۱ پمپ مکانیکی |
ردیاب | دتکتور الکترون ثانویه در خلأ بالا (با محافظ دتکتور) |
مرحلهٔ نمونه | محوطه نمونهی خودکار پنجمحوره با مرکزیابی مقدماتی |
محدودهٔ سفر | X: ۰ تا ۱۵۰ میلیمتر |
Y: ۰ تا ۱۵۰ میلیمتر | |
Z: 0~60 میلیمتر | |
R: ۳۶۰° | |
T: -۵°~۷۰° | |
حداکثر قطر نمونه | ۳۴۰ میلیمتر |
دتکتور اختیاری | BSE/EDS/EBSD/CL |
لوازم جانبی اختیاری | اتاق پیشطرحکشی EBL میز دما بالا و پایین کنسول نانو میز کشش جعبه کنترل دستی توپ ردیابی |
محصولات مرتبط
تسلط بر فناوریهای اصلی در ساخت افزودنی فلزی با کارایی بالا و عملیات سطحی
