GST-32 FE SEM 走査型電子顕微鏡

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機器の特性のプレゼンテーション

FE-SEMは ショットキー電界放出電子銃, を提供する。 ≤1 nmの分解能 そして 0.1-30 kV加速電圧 ナノスケールからマイクロスケールのイメージング用。を搭載しています。 15,000時間以上の電源寿命 そして オートビームアライメント, これにより、次のことが可能になる。 ≤5 kVでの非導電性サンプルの直接撮影 コーティングなしを装備している。 5軸電動ステージ (200mmサンプル対応)と マルチモード検出器 (SE/BSE/EDS)このシステムは、材料科学、ライフサイエンス、半導体産業向けのハイスループット分析に優れており、研究および品質管理の両方の精度を保証します。.

FE-SEMを選ぶ理由

  • ナノスケールの精密さ:最先端の研究および産業品質保証のための比類のない解像度。.
  • 適応型ワークフロー:導電性金属からデリケートな生物学的サンプルまで、すべて1つのシステムで。.
  • フューチャー・レディ:モジュール設計でアップグレードに対応(クライオステージ、3D EBSDなど)。.
加工サンプル
走査型電子顕微鏡(SEM)画像は、微細構造分析と材料特性評価のための多様な材料構造を示しています。
走査型電子顕微鏡(SEM)画像は、微細構造分析と材料特性評価のための多様な材料構造を示しています。
走査型電子顕微鏡(SEM)画像は、微細構造分析と材料特性評価のための多様な材料構造を示しています。
工業用および研究用アプリケーションにおける材料特性評価、表面分析、顕微鏡イメージング用高分解能電子顕微鏡
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主な利点

1.高性能ショットキー電界放出電子銃

  • 超高輝度:の卓越した明るさを実現 10⁹ A/(sr-m²-V) エネルギー拡散 <0.3 eV プローブサイズ ≤1 nm, サブナノメートルの解像度を確保している。.
  • ソース寿命の延長:動作寿命は 15,000時間, ダウンタイムを最小限に抑える。.
  • 低電圧の卓越性:達成 <1 nmの分解能 で 0.1-30 kV, ビームに敏感な非導電性サンプルに最適。.

2.優れた安定性と分析の多様性

  • ビーム安定性:ビーム電流ドリフト <0.5%/時間 信頼性の高い長期分析(例., CL、EDS、EBSD).
  • 非導電性サンプルの適合性:コーティングされていないサンプル(ポリマー、生体組織)の直接イメージング。 ≤5 kV 金スパッタリングなし.

3.ユーザー中心設計

  • スマート・オートメーション:オートビームアライメント、ワンクリックワークフロー、シームレスな操作のためのタッチスクリーンコントロールを搭載。.
  • 大容量サンプル:までの標本に対応 直径200mm オプションの5軸電動ステージ(チルト±90°、回転360°)付き。.

アプリケーション

フィールド主な用途
材料科学ナノ構造モルフォロジー、破壊解析、薄膜界面
生命科学細胞超微細構造、ウイルス粒子イメージング(凍結調製)
地球科学鉱物相マッピング、間隙構造のキャラクタリゼーション
半導体QA欠陥検査、フォトレジスト・プロファイリング、ナノワイヤー計測
科学捜査と産業微量証拠分析(繊維、微粒子)、PCBはんだ接合評価

技術仕様

パラメータ仕様
電子源ショットキー電界放出ガン
決議≤1.0 nm(15 kV時)、≤1.4 nm(1 kV時)
加速電圧0.1-30 kV
真空モード高真空:10-⁴-10-⁵Pa;低真空:10-100Pa(コーティングされていないサンプルの場合)
検出器SE、BSE、EDS(オプションでWDS、CL、EBSD)
サンプルステージ5軸自動ステージ:X/Y 110 mm、Z 50 mm、チルト±90°、回転360
チャンバーサイズ直径200mm×高さ80mm

項目

GST32-SEM1000 (FE SEM走査電子顕微鏡)

決議

1nm@30kv(SE) 3nm@1kv(SE) 2.5nm@30kv(BSE)

倍率

6倍~1000,000倍

電子銃タイプ

ショットキー電界で電子銃を発射

加速電圧

0~30kv

自動機能

フォーカス、明るさ/コントラスト、非点収差、中電子ビームペア

真空システム

イオンポンプ1台、ゲッターイオン複合ポンプ1台、分子ポンプ1台、メカニカルポンプ1台

検出器

高真空二次電子検出器(検出器保護付き)

サンプルステージ

5軸自動プレセンタリングサンプルステージ

走行距離

X: 0~150mm

Y: 0~150mm

Z: 0~60mm

R: 360°

T: -5°~70°

最大サンプル直径

340mm

オプション検出器

bse/eds/ebsd/cl

オプションアクセサリー

プレ・ドローイング・ルームEBL高温・低温タブレナノ・コンソールストレッチング・テーブルハンド・コントロール・ボックストラックボール