機器の特性のプレゼンテーション
FE-SEMは ショットキー電界放出電子銃, を提供する。 ≤1 nmの分解能 そして 0.1-30 kV加速電圧 ナノスケールからマイクロスケールのイメージング用。を搭載しています。 15,000時間以上の電源寿命 そして オートビームアライメント, これにより、次のことが可能になる。 ≤5 kVでの非導電性サンプルの直接撮影 コーティングなしを装備している。 5軸電動ステージ (200mmサンプル対応)と マルチモード検出器 (SE/BSE/EDS)このシステムは、材料科学、ライフサイエンス、半導体産業向けのハイスループット分析に優れており、研究および品質管理の両方の精度を保証します。.
FE-SEMを選ぶ理由
- ナノスケールの精密さ:最先端の研究および産業品質保証のための比類のない解像度。.
- 適応型ワークフロー:導電性金属からデリケートな生物学的サンプルまで、すべて1つのシステムで。.
- フューチャー・レディ:モジュール設計でアップグレードに対応(クライオステージ、3D EBSDなど)。.
主な利点
1.高性能ショットキー電界放出電子銃
- 超高輝度:の卓越した明るさを実現 10⁹ A/(sr-m²-V) エネルギー拡散 <0.3 eV プローブサイズ ≤1 nm, サブナノメートルの解像度を確保している。.
- ソース寿命の延長:動作寿命は 15,000時間, ダウンタイムを最小限に抑える。.
- 低電圧の卓越性:達成 <1 nmの分解能 で 0.1-30 kV, ビームに敏感な非導電性サンプルに最適。.
2.優れた安定性と分析の多様性
- ビーム安定性:ビーム電流ドリフト <0.5%/時間 信頼性の高い長期分析(例., CL、EDS、EBSD).
- 非導電性サンプルの適合性:コーティングされていないサンプル(ポリマー、生体組織)の直接イメージング。 ≤5 kV 金スパッタリングなし.
3.ユーザー中心設計
- スマート・オートメーション:オートビームアライメント、ワンクリックワークフロー、シームレスな操作のためのタッチスクリーンコントロールを搭載。.
- 大容量サンプル:までの標本に対応 直径200mm オプションの5軸電動ステージ(チルト±90°、回転360°)付き。.
アプリケーション
| フィールド | 主な用途 |
|---|---|
| 材料科学 | ナノ構造モルフォロジー、破壊解析、薄膜界面 |
| 生命科学 | 細胞超微細構造、ウイルス粒子イメージング(凍結調製) |
| 地球科学 | 鉱物相マッピング、間隙構造のキャラクタリゼーション |
| 半導体QA | 欠陥検査、フォトレジスト・プロファイリング、ナノワイヤー計測 |
| 科学捜査と産業 | 微量証拠分析(繊維、微粒子)、PCBはんだ接合評価 |
技術仕様
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 電子源 | ショットキー電界放出ガン |
| 決議 | ≤1.0 nm(15 kV時)、≤1.4 nm(1 kV時) |
| 加速電圧 | 0.1-30 kV |
| 真空モード | 高真空:10-⁴-10-⁵Pa;低真空:10-100Pa(コーティングされていないサンプルの場合) |
| 検出器 | SE、BSE、EDS(オプションでWDS、CL、EBSD) |
| サンプルステージ | 5軸自動ステージ:X/Y 110 mm、Z 50 mm、チルト±90°、回転360 |
| チャンバーサイズ | 直径200mm×高さ80mm |
項目 | GST32-SEM1000 (FE SEM走査電子顕微鏡) |
決議 | 1nm@30kv(SE) 3nm@1kv(SE) 2.5nm@30kv(BSE) |
倍率 | 6倍~1000,000倍 |
電子銃タイプ | ショットキー電界で電子銃を発射 |
加速電圧 | 0~30kv |
自動機能 | フォーカス、明るさ/コントラスト、非点収差、中電子ビームペア |
真空システム | イオンポンプ1台、ゲッターイオン複合ポンプ1台、分子ポンプ1台、メカニカルポンプ1台 |
検出器 | 高真空二次電子検出器(検出器保護付き) |
サンプルステージ | 5軸自動プレセンタリングサンプルステージ |
走行距離 | X: 0~150mm |
Y: 0~150mm | |
Z: 0~60mm | |
R: 360° | |
T: -5°~70° | |
最大サンプル直径 | 340mm |
オプション検出器 | bse/eds/ebsd/cl |
オプションアクセサリー | プレ・ドローイング・ルームEBL高温・低温タブレナノ・コンソールストレッチング・テーブルハンド・コントロール・ボックストラックボール |
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