معدات ترسيب GSTXCVD CVD/PECVD
عرض خصائص المعدات
يشير مصطلح CVD إلى تفاعل الطور الغازي عند درجة حرارة عالية، مثل التحلل الحراري لهاليدات الفلزات والمعادن العضوية والهيدروكربونات وما إلى ذلك، أو اختزال الهيدروجين، أو طريقة التفاعل الكيميائي للغاز المختلط عند درجة حرارة عالية لترسيب المواد غير العضوية مثل المعادن والأكاسيد والكربيدات. وقد تم تطوير هذه التقنية في الأصل كطريقة طلاء، ولكنها لا تستخدم فقط في طلاء المواد المقاومة للحرارة، ولكن أيضًا في تكرير المعادن عالية النقاء، وتخليق المساحيق، والأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات، وما إلى ذلك، وهي مجال تقني مميز للغاية.
يشير مصطلح CVD إلى تفاعل الطور الغازي عند درجة حرارة عالية، مثل التحلل الحراري لهاليدات الفلزات والمعادن العضوية والهيدروكربونات وما إلى ذلك، أو اختزال الهيدروجين أو طريقة التسبب في تفاعل غازه المختلط كيميائياً عند درجة حرارة عالية لترسيب المواد غير العضوية مثل المعادن والأكاسيد والكربيدات. تم تطوير هذه التقنية في الأصل كطريقة طلاء، ولكنها لا تُستخدم فقط لطلاء المواد المقاومة للحرارة، ولكن أيضًا لتكرير المعادن عالية النقاء، وتخليق المساحيق، وأغشية أشباه الموصلات، إلخ. إنه مجال تقني مميز للغاية.
PECVD: هو تأيين الغاز الذي يحتوي على الذرات التي تشكل الفيلم بمساعدة الموجات الدقيقة أو الترددات الراديوية، وتشكيل البلازما محليًا. وتكون البلازما نشطة كيميائيًا للغاية وتتفاعل بسهولة لترسيب الفيلم المطلوب على الركيزة. ولتمكين التفاعل الكيميائي من الاستمرار في درجة حرارة أقل، يتم استخدام نشاط البلازما لتعزيز التفاعل، لذلك يُطلق على هذا الترسيب الكيميائي القابل للقطع CVD اسم الترسيب الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD).
يتم تخصيص تكوين النوع المحدد ومعلمات المعدات وفقًا للاحتياجات الفعلية للعميل
حلول التصنيع المتقدمة الموصى بها
استكشف محفظة Greenstone ذات الصلة من المعدات الصناعية عالية الأداء، المصممة لتكملة أهداف التصنيع الخاصة بك عبر التكسية بالليزر والتصنيع المضاف DED، والتنظيف بالليزر، وهندسة الأسطح، والأتمتة الدقيقة، ومعالجة المواد المتقدمة. تم تصميم كل حل بشكل استراتيجي لتوسيع قدرات الإنتاج وتعزيز كفاءة العمليات ودعم الابتكار الصناعي القابل للتطوير.
بدءًا من أنظمة الليزر المعيارية إلى منصات التصنيع الذكية المتكاملة تمامًا، توفر Greenstone للعملاء تقنيات مترابطة توفر مرونة ودقة وتميزًا تشغيليًا أكبر لبيئات التصنيع العالمية الحديثة.
