دستگاه پوشش‌دهی اسپاترینگ مغناطیسونی سری GSTMS یک دستگاه اسپاترینگ تک‌تکه است. چندین پمپ مولکولی شرایط خلأ عالی و شرایط اسپاترینگ پایدار را فراهم می‌کنند.

ویژگی‌های تجهیزات:
اندازه حفره φ1200-φ2000 میلی‌متر؛;
از سیستم ICP RF بدون شبکه با منبع یون لایه آند استفاده کنید؛;
فرآیند پوشش‌دهی کاملاً خودکار از طریق سیستم کنترل پوشش‌دهی کاملاً خودکار ACS محقق می‌شود.;
راک قطعه کار از نوع راک چندتکه/ساختار سیاره‌ای است؛;
سیستم اگزوز بدون روغن قابل سفارشی‌سازی است؛;
فرآیند تشکیل فیلم و وضعیت آن را می‌توان از زوایای مختلف مشاهده کرد؛;