Zařízení pro magnetronové naprašování GSTMS-800
Prezentace charakteristik zařízení
Zařízení pro nanášení povlaků magnetronovým naprašováním řady GSTMS je zařízení pro nanášení povlaků jedním tělesem. Více molekulárních vývěv zajišťuje vynikající vakuové podmínky a stabilní podmínky naprašování.
Zařízení pro magnetronové naprašování řady GSTMS je jednodílný naprašovací stroj. Více molekulárních vývěv zajišťuje vynikající vakuové podmínky a stabilní podmínky naprašování.
Vlastnosti vybavení:
Velikost dutiny φ1200-φ2000mm;
Použijte iontový zdroj s anodovou vrstvou/bezmřížkový RF ICP systém;
Plně automatický proces nanášení nátěru je zajištěn plně automatickým řídicím systémem ACS;
Stojan na obrobky je vícedílný stojanový/planetární konstrukce;
Bezolejový výfukový systém lze přizpůsobit;
Proces a stav formování filmu lze pozorovat z více úhlů;
| Položka | Specifikace |
| Velikost vakuové komory | SUS304 φ800mm × 900mm (H) |
| Pracovní stojan | Vícedílná závěsná konstrukce |
| Rozměry pracovního stojanu | φ650×500 |
| Rychlost otáčení substrátu | 3r/min～30r/min (variabilní) |
| Režim řízení rychlosti reakce | Řízení rychlosti reakce Speedlo / Přímá reakce |
| Cílový zdroj | Rotační/planární katody, střední frekvence/DC |
| Řízení cílového zdroje | Řízení krystalů / Kumulativní řízení času |
| Zdroj iontů | Zdroj iontů v anodové vrstvě / RF-ICP |
| Vakuové čerpání | Mechanické čerpadlo + turbočerpadlo / kryočerpadlo / čerpadlo kryogenního sifonu |
| Položka | Specifikace |
| Konečné vysávání | 2,5×10-⁴Pa |
| Doba čerpání | Z atmosféry na 4,0×10³Pa za 15 minut při pokojové teplotě bez zatížení |
| Teplota substrátu | Maximálně 150 °C |
| Položka | Specifikace |
| Požadavky na prostor | Přibližně 2,8 m (š) × 2,6 m (h) × 2 m (v) |
| Požadavky na napájení | Třífázový, pětivodičový, 380 V, 50 Hz, cca 45 kW |
| Požadavky na chladicí vodu | 60 l/min, 0,2-0,3 MPa, 10-35 °C |
| Stlačený vzduch | 0,6 MPa |
| Hmotnost zařízení | Přibližně 2000 kg |
Doporučená pokročilá výrobní řešení
Prozkoumejte související portfolio vysoce výkonných průmyslových zařízení Greenstone, která jsou navržena tak, aby splňovala vaše výrobní cíle v oblasti laserového plátování, aditivní výroby DED, laserového čištění, povrchového inženýrství, přesné automatizace a pokročilého zpracování materiálů. Každé řešení je strategicky navrženo tak, aby rozšiřovalo výrobní možnosti, zvyšovalo efektivitu procesů a podporovalo škálovatelné průmyslové inovace.
Od modulárních laserových systémů až po plně integrované inteligentní výrobní platformy - společnost Greenstone poskytuje zákazníkům propojené technologie, které zajišťují větší flexibilitu, přesnost a provozní dokonalost pro moderní globální výrobní prostředí.
