Ο κλίβανος CVD κενού υψηλής θερμοκρασίας χρησιμοποιεί χημική εναπόθεση ατμών υψηλής θερμοκρασίας για την εναπόθεση διαφόρων λεπτών υμενίων στην επιφάνεια του τεμαχίου. Χρησιμοποιείται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών και στις επικαλύψεις θερμικών φραγμών της αεροδιαστημικής, συμπεριλαμβανομένης της εναπόθεσης μονωτικών υλικών μεγάλης επιφάνειας, καθώς και των περισσότερων μεταλλικών υλικών και υλικών από κράματα μετάλλων, όπως επικαλύψεις καρβιδίου τανταλίου και υλικά επικάλυψης καρβιδίου πυριτίου.
Για παράδειγμα, στην επιφάνεια των τεμαχίων γραφίτη μπορούν να εναποτεθούν επιστρώσεις καρβιδίου τανταλίου και καρβιδίου πυριτίου.
Είναι κατάλληλο για επιχειρήσεις παραγωγής και εργαστήρια υλικών μεγάλων πανεπιστημίων, ινστιτούτα επιστημονικής έρευνας, περιβαλλοντικές επιστήμες και άλλους τομείς.
Σύνθεση εξοπλισμού
Το κέλυφος του κλιβάνου είναι κατασκευασμένο από ανοξείδωτο χάλυβα, με υδρόψυκτη δομή διπλού στρώματος και είναι εξοπλισμένο με παράθυρο παρατήρησης, παράθυρο μέτρησης θερμοκρασίας με υπέρυθρες ακτίνες και συσκευή μέτρησης θερμοκρασίας με θερμοστοιχείο.
Σύστημα θέρμανσης
Ένας θερμαντήρας εγκαθίσταται στο εσωτερικό του εξοπλισμού για τη δημιουργία θερμικού πεδίου για την εναπόθεση λεπτών υμενίων.
Σύστημα βαθμίδας δείγματος
Το στάδιο δειγμάτων μπορεί να τοποθετήσει πολλά τεμάχια ταυτόχρονα.
Μέτρηση θερμοκρασίας και παροχή ισχύος θέρμανσης
1. Τα θερμοζεύγη/θερμοζεύγη βολφραμίου-ρενίου/θερμόμετρα υπέρυθρης ακτινοβολίας χρησιμοποιούνται για τον έλεγχο και την ανίχνευση της θερμοκρασίας.
2. Η ισχύς του τροφοδοτικού θέρμανσης προσαρμόζεται ανάλογα με τις πραγματικές απαιτήσεις.