{"id":2719,"date":"2025-03-18T03:25:09","date_gmt":"2025-03-18T03:25:09","guid":{"rendered":"https:\/\/greenstone-tech.com\/?post_type=machinery-equipment&p=2719"},"modified":"2026-01-18T20:30:23","modified_gmt":"2026-01-18T20:30:23","slug":"gstxcvd-lpcvd-equipo-de-deposicion-quimica-en-fase-vapor-a-baja-presion","status":"publish","type":"machinery-equipment","link":"https:\/\/www.greenstone-tech.com\/es\/machinery-equipment\/gstxcvd-lpcvd-low-pressure-chemical-vapor-deposition-equipment\/","title":{"rendered":"Equipo de deposici\u00f3n qu\u00edmica de vapor a baja presi\u00f3n GSTXCVD LPCVD"},"content":{"rendered":"
Tipo<\/td>Par\u00e1metro<\/td><\/tr>
Tipos de pel\u00edcula<\/td>Si\u2083N\u2084, Poly-Si, SiO\u2082, etc.<\/td><\/tr>
Temperatura m\u00e1xima<\/td>1200\u00b0C<\/td><\/tr>
Temperatura constante Longitud de la zona<\/td>Configurado seg\u00fan las necesidades del usuario<\/td><\/tr>
Precisi\u00f3n del control de temperatura en zona constante<\/td>\u2264\u00b10.5\u00b0C<\/td><\/tr>
Rango de presi\u00f3n de trabajo<\/td>13\uff5e1330Pa<\/td><\/tr>
Falta de uniformidad de la pel\u00edcula<\/td>\u2264\u00b15%<\/td><\/tr>
Capacidad de carga del sustrato<\/td>Standard substrates: 1\uff5e3 pieces; multiple irregular-sized wafers<\/td><\/tr>
Control de la presi\u00f3n<\/td>Control de llenado de gas en bucle cerrado<\/td><\/tr>
M\u00e9todo de carga<\/td>Carga\/descarga manual de muestras<\/td><\/tr><\/tbody><\/table>
Principales indicadores t\u00e9cnicos de los equipos de deposici\u00f3n qu\u00edmica en fase vapor a baja presi\u00f3n LPCVD (investigaci\u00f3n cient\u00edfica LPCVD)<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
Tipo<\/td>Par\u00e1metro<\/td><\/tr>
Tipos de pel\u00edcula<\/td>Si\u2083N\u2084, Poly-Si, SiO\u2082, etc.<\/td><\/tr>
Temperatura m\u00e1xima<\/td>1200\u00b0C<\/td><\/tr>
Temperatura constante Longitud de la zona<\/td>Configurado seg\u00fan las necesidades del usuario<\/td><\/tr>
Precisi\u00f3n del control de temperatura en zona constante<\/td>\u2264\u00b10.5\u00b0C<\/td><\/tr>
Rango de presi\u00f3n de trabajo<\/td>13\uff5e1330Pa<\/td><\/tr>
Falta de uniformidad de la pel\u00edcula<\/td>\u2264\u00b15%<\/td><\/tr>
Capacidad de carga de sustrato por lote<\/td>100 obleas<\/td><\/tr>
Potencia total<\/td>16 kW<\/td><\/tr>
Consumo de agua de refrigeraci\u00f3n<\/td>2m\u00b3\/h<\/td><\/tr>
Control de la presi\u00f3n<\/td>Control de llenado de gas en bucle cerrado<\/td><\/tr>
M\u00e9todo de carga<\/td>Carga autom\u00e1tica de embarcaciones<\/td><\/tr><\/tbody><\/table>
Principales indicadores t\u00e9cnicos del equipo de deposici\u00f3n qu\u00edmica en fase vapor a baja presi\u00f3n LPCVD (tipo de producci\u00f3n LPCVD)<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
\n
\"\"
Interfaz de funcionamiento manual LPCVD<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
\"\"
Interfaz de supervisi\u00f3n del funcionamiento en tiempo real del LPCVD<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
\"\"
Interfaz de funcionamiento autom\u00e1tico LPCVD<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n
\"\"
Interfaz de edici\u00f3n del proceso LPCVD<\/figcaption><\/figure>\n<\/figure>","protected":false},"featured_media":2711,"template":"","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[67,139],"tags":[],"class_list":["post-2719","machinery-equipment","type-machinery-equipment","status-publish","has-post-thumbnail","hentry","category-chemical-vapor-deposition-cvd-equipment","category-associated-equipment"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.greenstone-tech.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/machinery-equipment\/2719","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.greenstone-tech.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/machinery-equipment"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.greenstone-tech.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/types\/machinery-equipment"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.greenstone-tech.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/machinery-equipment\/2719\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":6219,"href":"https:\/\/www.greenstone-tech.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/machinery-equipment\/2719\/revisions\/6219"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.greenstone-tech.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2711"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.greenstone-tech.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2719"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.greenstone-tech.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2719"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.greenstone-tech.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2719"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}